簡介：

C60-40 離子源系統(tǒng) 是目前性能較高的C60光束，具有300納米的光斑尺寸和高達1毫安的束流。

從生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用到聚合物科學(xué)和冶金，C60-40都可以做到這  一點。得益于與其他C60離子束相同的均勻濺射，但由于更高 的束能量，C60-40具有難以置信的精細斑點和更高的蝕刻率，是一種用于廣泛應(yīng)用的極其強大的分析工具。 

C60-40 離子源系統(tǒng) 是一款出色的全能型產(chǎn)品，Ionoptika銷售的每臺J105SIMS儀器中都包含C60-40。

主要參數(shù)：

特點:  

◇  用于 SIMS 分析的出色的全部方位離子束；

◇  小光斑尺寸可達 300 nm；

◇  電流高達 1 nA；

◇  Wien濾波器，用于在直流和脈沖操作過程中進行質(zhì)量濾波；

◇  提供快速脈沖、脈沖串、光柵和二次電子檢測功能；

◇  閘閥，便于快速維修

應(yīng)用技術(shù)： 

下圖顯示了C60-40在正離子模式下獲得的半導(dǎo)體堆棧的3D SIMS圖像。樣品由InSb、Al和GaAs層組成，覆蓋在保護性光刻膠層中。

這種軟有機、無機和硬金屬層的結(jié)合對于大多數(shù)其他離子束來說是極其困難的。C60-40是這一棘手應(yīng)用的理想選擇，因 為它在不同材料上具有一致的濺射速率。C60-40與300  nm的光斑尺寸相結(jié)合，是一種強大的光束，無論您使用何種類型的樣品，都能在2D和3D中提供較高分辨率。